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[포토공정] Soft Baek 이슈 및 공정 방법 비교 Soft Bake란? Soft Bake는 PR에 존재하는 Solvent를 증발시켜 제거하기 위한 공정이다. 잔여 Solvent가 있으면 이후 노광공정에 방해가 되기 때문이다. 또한 Wafer 표면과 PR사이의 Adhension을 좋게 하고 PAC(Photo Active Compound)를 활성화한다. Soft Bake 이슈 Over Bake : Bake를 필요 이상으로 오래 노출해 PAC 변성이 일어나 포토 Sensitivity가 감소하고 고분자화하는 이슈이다. Under Bake : 솔벤트가 충분히 증발되지 않아 필름과 감광액 간의 접착력이 감소된다. 이에 따라 필름이 박리되기도 한다. 또한 솔벤트가 빛을 흡수하는 성질이 있어서 노광공정에서 PAC가 충분한 빛을 받지 못한다. Oven VS Hot Pl.. 2023. 5. 13.
[포토공정] 감광제 PR이란? Photoresist(PR) 감광제인 PR을 도포하는 공정이다. PR은 감광성 고분자 물질로 크게 Solvent, Resin, PAC로 구성되어 있다. 감광 원리에 따라 Positive PR과 Negative PR로 구분된다. Solvent : 솔벤트는 PR의 97%를 차지할 정도로 많은 부분을 차지하고 있다. 고체인 Resin과 PAC를 용해시켜 스핀 코팅을 용이하게 도와주는 역할을 한다. Resin : 레진은 Polymer 결합으로 이루어진 물질로 Positive PR과 Negative PR이 각각 다른 구조를 가지고 있다. PAC(Photoactive compound) : PAC는 빛을 받아 Resin과 반응하는 역할을 한다. Positive PR 빛을 받은 부분이 제거되고 빛을 받지 않은 부분이 .. 2023. 5. 13.
[포토공정] Spin Coating의 균일도 및 문제점 포토공정의 Spin Coating 공정 과정에서 가장 중요한 것은 감광제인 PR의 균일 도포이다. PR의 균일도가 불규칙하면 빛을 전사했을 때 패턴 품질이 떨어지고 결함 발생 요인을 높일 수 있다. 균일도(Uniformity) PR 두께와 균일성에 영향을 주는 요인 점성계수 : 점성이 낮을수록 PR도포 시 두께가 얇아진다. Spin 속도 : Spin 속도가 빠를수록 두께가 얇아진다. Emslie, Bonner and Peck's Model Spin Coating의 문제점 Edge bead : 스핀으로 인하여 웨이퍼 Edge에 생기는 봉우리 현상이다. 균일하게 도포되지 않는 문제가 발생한다. Streaks : 웨이퍼 표면 위에 있는 불순물로 Streaks(줄무늬)가 생기는 현상이다. Imperfect su.. 2023. 5. 13.
[포천 카페] 카페숨 - 노키즈존 빼고 완벽한 힐링 카페 (내돈내산) 카페 숨 자연적인 분위기는 매우매우 좋지만 NO KIDS ZONE을.. 운영하는 카페 숨을 리뷰해보려고 합니다. 위치 : 경기 포천시 소흘읍 죽엽산로 502-61 대표번호 : 0507-1408-1449 영업시간 : 토, 일, 공휴일 11:00 ~ 19:00 정기휴무 : 매주 월~금요일 (평일은 대관행사만 진행) 주차가능 숨의 주차장은 총 2개로 요양원 앞쪽에 위치한 주차장과 안쪽 주차장이 있습니다. 동행자 중 거동이 불편하신 분이 있다면 안쪽 주차장을 이용하시면 될 것 같습니다. 기분 좋게 가족들하고 들어가는데 NO KIDS ZONE 안내판이 있더라고요. 저는 나이제한으로 이용에 차별 두는 정책을 안 좋아해서 이 부분은 상당히 별로였습니다. 물론 성인들의 조용한 분위기로 휴식을 주는 취지는 알겠으나 특정.. 2023. 5. 12.
[포천 맛집] 앵두나무우물가에 - 깔끔한 한정식을 맛 볼 수 있는 고모리 맛집 (내돈내산) 앵두나무우물가에 어버이날을 맞아 첫 월급으로 가성비 좋고 괜찮은 한정식 집을 찾았습니다. 고모리저수지 근처에 있는 앵두나무우물가에라는 한정식 집을 발견해서 갔습니다. 분위기와 맛을 모두 만족해 리뷰해보려고 합니다. 위치 : 경기 포천시 소흘읍 죽엽산로 502-8 대표번호 : 031-541-5622 영업시간 : 11:30 ~ 20:30 지역화폐 사용 가능 주차 가능 가게 주차장으로 들어가는 길에 손으로 작성한 귀염귀염한 글씨로 제작한 간판이 있습니다. 가게로 들어가는 길 옆에 또 다른 길이 있으니 나오는 차 조심하셔서 진입하셔야 할 것 같습니다. 주차장은 그냥 넓은 공터입니다. 주차선이나 그런 거는 없습니다. 이쁘게 잘 주차하셔야 됩니다. (개인적으로 전 이런 게 더 느낌 있더라고요 ㅋㅋ) 매장 내부는 정.. 2023. 5. 12.
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