알루미늄과 구리의 재료 특성 (금속 배선 공정)

알루미늄

장점

가격이 상대적으로 저렴하다.

박막 상태에서도 벌크상태와 비슷한 높은 전기전도도를 갖는다.

박막증착이 용이하다.

산화막과의 접착력이 뛰어나다

구리에 비해 증착과 식각 공정이 쉽다.

자연산화막을 환원시킨다.

단점

Junction Spiking 이슈 발생

Electromigration 이슈 발생

Hillock 이슈 발생

부식이 쉽다.

녹는 점이 낮다.

장점

알루미늄보다 낮은 전기적 자항을 갖는다.

알루미늄보다 높은 녹는점을 가진다.

알루미늄보다 낮은 Diffusicity를 가진다.

Electromigration이 억제되어 신뢰성 향상에 도움이 된다.

단점

식각이 어렵다. 이를 다마신(Damascene) 공법으로 해결한다.

알루미늄 배선 공정 (금속배선공정)

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