[포토공정] Spin Coating의 균일도 및 문제점

포토공정의 Spin Coating 공정 과정에서 가장 중요한 것은 감광제인 PR의 균일 도포이다. PR의 균일도가 불규칙하면 빛을 전사했을 때 패턴 품질이 떨어지고 결함 발생 요인을 높일 수 있다.

 

PR도포 과정

 

균일도(Uniformity)

균일도

 

PR 두께와 균일성에 영향을 주는 요인

점성계수 : 점성이 낮을수록 PR도포 시 두께가 얇아진다.

Spin 속도 : Spin 속도가 빠를수록 두께가 얇아진다.

 

Emslie, Bonner and Peck's Model

 

 

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Spin Coating의 문제점

• Edge bead : 스핀으로 인하여 웨이퍼 Edge에 생기는 봉우리 현상이다. 균일하게 도포되지 않는 문제가 발생한다.
• Streaks : 웨이퍼 표면 위에 있는 불순물로 Streaks(줄무늬)가 생기는 현상이다.
• Imperfect substrate wetting : 표면에 충분히 소수성 성질을 가지지 못했을 경우 생기는 현상이다.
• Initial liquid volume is too small : 충분한 양의 PR이 사용되지 못했을 때 발생하는 현상이다. 

Spin coating 문제점