[포토공정] Develop 후의 PR형태 및 이슈

포토공정 후 Develop 후의 PR 형태에 따라 이후 공정의 퀄리티가 결정된다.

 

Develop 후의 PR 형태

현상 단계는 현상액을 이용하여 필요 없는 부분을 구분하여 PR을 제거하는 과정이다. 현상 후 Positive PR과 Negative PR의 단면은 다른 모양을 가지게 된다. 이와 같은 차이를 이용해 Lift-off와 같은 메탈 증착을 할 수 있다.

Lift-off

현상 후 Positive PR과 Negative PR의 단면이 다른 이유는 빛의 회절과 관련이 있다. Positive PR의 경우 빛을 받는 중앙을 중심으로 넓게 퍼진 부분이 제거가 된 상태이다.

 

이 상태로 메탈을 증착하고 필요 없는 PR을 제거하면 메탈이 찢어져 깔끔하게 패턴이 형성되지 못하게 된다. 반면 Negative PR은 빛을 받은 부분이 제거되지 않고 빛을 받지 않은 부분이 제거된다. 이로 인해 메탈을 증착할 때, 이미 끊어진 형태로 증착이 된다. 따라 현상을 하고 난 뒤에도 패턴이 깔끔하게 남아 있게 된다.

결과적으로 Lift-off 공정에는 Negative PR을 사용하는 것이 더 유리하다.

Develop 후의 PR 형태

 

Develop 실패 사례

Under Develop : 현상 시간이 충분하지 않았거나 현상액을 여러 번 재사용해서 기능을 잃는 경우이다.

Over Develop : 현상 시간이 너무 과도해 현상이 잘 되지 않은 경우이다.

Incomplete Develop : 현상 시간에는 문제가 없지만, 노광이 충분히 되지 못해서 지워져야 할 부분이 지워지지 않은 경우이다.

Develop 이슈